Специальные керамические изделия
Сапфир
Сапфир — монокристаллический корунд, прозрачный материал с исключительной химической стойкостью и ценными механическими, термальными и оптическими свойствами. По своим свойствам сапфир значительно превосходит стекло, кварц и другие прозрачные материалы серийного производства.
Кордиерит
Кордиерит — чрезвычайно легкий материал с низким тепловым расширением и высочайшей прочностью, жесткостью и термостойкостью.
Оксид иттрия
Благодаря великолепной стойкости к воздействию плазмы этот материал идеально подходит для применения в оборудовании для обработки полупроводников, где необходимо исключить загрязнение частицами. Оксид иттрия позволяет повысить производительность за счет снижения эксплуатационных требований к оборудованию.
Нитрид алюминия
Нитрид алюминия обладает хорошими электроизолирующими свойствами и великолепной теплопроводностью, что делает его идеальным для применения в областях, где требуется рассеяние тепла. Кроме того, термический коэффициент расширения (CTE) этого материала практически соответствует коэффициенту кремния. Благодаря устойчивости к воздействию плазмы нитрид алюминия используется в компонентах оборудования для обработки полупроводников.
Металлокерамика
Композиционные материалы, состоящие главным образом из TiC или TiN и NbC с такими металлами, как Co, Ni или Mo. Вследствие великолепной устойчивости к износу металлокерамика отличается малой адгезией к металлам и широко используется в режущих инструментах, износостойких инструментах в электронной промышленности и в скользящих деталях. Материал также можно припаивать к металлам.
Муллит
Обладает отличным термическим сопротивлением, термостойкостью и чрезвычайно высоким сопротивлением ползучести. Показатель теплового расширения материала почти соответствует показателям чипов на кремниевых полупроводниках.
Стеатит
Имеет исключительные электрические и механические свойства, отлично поддается механической обработке.
Форстерит
Отличается низкими потерями микроволновых волн, великолепными изоляционными свойствами при высокой температуре и гладкой поверхностью. Материал идеально подходит для использования в деталях электровакуумных приборов и подложках схем. Благодаря высокому термическому коэффициенту расширения легко соединяется с металлами и стеклом.